可快速向市场投放有机EL和4K液晶,应用材料公司推出新型检测装置

2016-11-080阅读0

  “可快速提高有机EL和4K(UHD)液晶等新型面板的制造成品率,缩短市场投放周期”。在“中国·北京2016国际显示产业高峰论坛”(11月1~2日)上,美国应用材料公司(Applied Materials,AMAT)AKT显示事业部、产品技术部总经理Peter Nunan发表演讲,介绍了这样一种新型检测装置。

  

应用材料公司AKT显示事业部、产品技术部总经理Peter Nunan在发表演讲

  据介绍,由于有机EL及4K液晶等先进显示器需要的工序增加,随之产生的污染物质也不断增多且微细化,新型缺陷也就越来越多。此前检查这些缺陷通常使用内联(IN-LINE)自动光学缺陷检测装置,但在鉴别致命缺陷(重大缺陷)及确定缺陷根本原因方面能力不够。

  另一方面,如果利用扫描型电子显微镜来分析,虽然可能鉴别出致命缺陷,确定根本原因,但必须弄碎玻璃基板,利用显微镜逐个观察碎片。因此会浪费大量时间和成本,而且,即便发现缺陷,也基本无法判断这块碎片是属于原面板的哪个部分。

  AMAT此次充分利用在半导体制造领域积累的技术,开发出了无需破坏基板即可确认高分辨率SEM像的内联电子束检视(EBR)系统。该技术通过组合半导体缺陷检查中采用的SEM技术和显示器用大型真空平台而实现。如果使用该内联EBR装置,可快速高效查明致命缺陷的根本原因,采取相应的对策。据该公司介绍,利用该系统可在短期内提高有机EL及4K液晶等新型面板的制造成品率,并快速向市场投放,而且还可避免因成品率变动而造成的成本增加。

  关于该EBR装置,该公司表示,“在全球排名前十的面板厂商中,已接到6家公司的订单”。其中一家便是中国知名厂商天马微电子。Peter Nunan在此次演讲中表示,天马副总裁马骏评价该产品称,“可缩短天马武汉工厂的量产启动期限,快速向市场投放更先进的显示器产品”。(记者:田中直树)

  (全文完)