用电铸工艺开出孔径0.02mm网眼板

2016-11-28阅读

  日本ALPHA精工公司(总部:东京都八王子市)在“产品制造伙伴论坛2016”(《日经制造》主办,11月24、25日于东京品川Intercity Hall举行)上,展出了可形成宽0.01~0.02mm微细孔及微细槽的技术和加工样品。此次该公司还在会场内的特别展区展示了配置有0.02mm直径开孔的300mm见方网眼板(板厚0.03mm,图1)。为了介绍相关技术,该网眼板用电铸镍(Ni)工艺制作而成。

  

图1:以0.04mm间隔配置直径0.02mm开孔的网眼板

  透镜下方是实物,右侧是在纸上印刷的放大图像。

  ALPHA精工以光刻技术为基础,从事蚀刻和电铸业务。其中,对于需要高精度的部件,与蚀刻相比,该公司更多地使用电铸工艺。作为加工示例,该公司展出了呈放射状开有0.01mm及0.02mm宽沟槽的编码器用旋转槽圆盘(图2)。展示的圆盘有两种,一种的开槽为贯通状态(以透射光来使用),另一种的开槽为非贯通状态(以反射光来使用)。

  

图2:高精度旋转编码器用旋转槽圆盘

  旋转槽圆盘的直径为20mm左右,看不出有一道道的开槽。

  用电铸工艺制造部件的方法是,在事先用光刻胶形成沟槽图案的板材上堆积材料。并不是通过蚀刻在板材上开孔,而是形成最初就为开孔状态的板材。ALPHA精工董事兼营业部长工藤纬说,“加工精度取决于光刻。通过使用高精细描绘装置,提高了加工精度”。(记者:木崎 健太郎)

  (全文完)